住友ケミカルエンジニアリング株式会社

事業紹介

電子産業関連

世界で活躍する薬液供給システム

SCECは、半導体製造が本格化し始めた1970年代後半より薬液自動供給設備の研究開発を開始し、1981年に第1号の設備を納入しています。
以来、このシステムをメインに安全で安定した数多くのシステムを提供し、お客様の安定操業、省力化に貢献してきました。現在では、国内はもとより世界7カ国にシステムを納入するなど、国際的にも高い評価を受けています。

薬液供給システムは、安全を基本とすることはもちろんのこと、24時間365日の連続稼働を常識とする工場に対し、常に安定して薬液を供給することが重要となります。
SCECが得意とする薬液供給システムは、1500件を超える多くの実績と長年にわたるアフターサービスの中で数多くの経験を積んできました。
これらの経験はノウハウとして蓄積し、常にシステム開発、アフターサービスにフィードバックされ、薬液の特性に合わせた信頼性の高いシステムを提供しています。
今後も益々多様化するニーズにお応えし、より良いシステムを構築することでお客様満足度の向上に邁進してまいります。

有機系用供給ユニット薬液供給システム


取り扱い品目

  • 薬液自動供給システム
  • CMPスラリー供給設備
  • CMPスラリー希釈・調合設備
  • 現像液希釈設備
  • フッ酸希釈設備
  • アンモニア希釈設備
  • その他希釈設備(KOH、シュウ酸他)
  • 混酸調合設備
  • IPAリサイクル設備
  • 定圧ユニット
  • 硫酸再生装置
  • 純水昇圧装置
  • 廃液回収設備
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